解决方案

蓝途专注于空气净化、人工环境温湿度控制领域,为客户提供空气品质控制提供系统解决方案

半导体

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半导体芯片、晶圆、光刻、蚀刻、封装测试等高端制程工序,属于超高精密制造场景,对洁净等级、温湿度精度、低静电、低露点环境有着行业顶级严苛标准,微小颗粒物、细微温湿度偏差都会直接影响芯片精度与良率。蓝途深耕半导体高端制造领域,专为半导体洁净厂房、无尘实验室、精密制程车间定制专属环境控制系统,实现高精度恒温恒湿、微纳米级颗粒净化、静电抑制与空气压差稳定管控。搭配环保冷媒与节能热泵技术,在满足半导体行业严苛生产规范、保障精密制程稳定运行的同时,大幅降低厂房能耗,助力半导体产业高端化、绿色化、高品质发展。